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浮动抛光方法

内容导读:浮动抛光方法 科众工业陶瓷厂(http://www.kztaoci.com/)【结构陶瓷专家】询价手机:13412443344QQ921105260 超精密平面浮动抛光机采用液体静压轴承,并在台面上装有超精密金刚石立车抛光盘修
超精密平面浮动抛光机采用液体轴承,并在台面上装有超精密金刚石立车抛光盘修整器。抛光机要放置在有空调的洁净室内的超洁净工作台上,在100级洁净度下进行抛光。
   
采用纯水或蒸溜水做加工液,使用公称直径7nm的SiO₂超微细粒子作抛光剂(质量分数为2%~3%)。抛光时,将抛光盘表面浸没在抛光液内。将表面粗糙度Rz1.0μm以下、平面度数微米的工件放在抛光盘上,并使抛光盘和工件高速回转,借助两者之间的抛光液的动压流体润滑状态,使工件悬浮在抛光盘上进行抛光。

   
浮动抛光时,由于工件上浮量只有数微米,所以当预加工工件的表面粗粗糙度Rz为数微米时,在工件与抛光盘间建立不起液膜,并且会损坏抛光盘,不能进行悬浮抛光。浮动抛光还要求工件有良好的平面度。

抛光机无轴向振动。为了防止工件与锡抛光盘接触,还需往抛光液中添加增黏剂。因此,工件不能由粗加工或中加工直接移至终浮动抛光加工。浮动抛光要求工件在的前道工序进行精抛光,且加工表面粗糙度不大于35nm。
    
氧化锆陶瓷特点因锡抛光盘刚性较高,并且加工中的抛光压力较高,所以工件与抛光盘间几微米厚度的抛光液膜的刚性也高。工件不直接与锡盘接触,因此,锡盘在抛光过程中磨损少,比其他抛光法更易保持平面度。

另外,由于动压液体的均化作用,工件表面比锡盘的平面度更高。即使锡盘表面有微量不平,也不会直接“复印”到工件表面。在加工中要保持工作平稳回转,使用的抛光压力仅是工件和工件夹具的自重,不需要施加外力。
 
 

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