氧化锆陶瓷在微机械领域的应用

　　氧化锆陶瓷材料正逐渐被广泛应用于微机械领域．困为氧化锆陶瓷材料的酎高温、耐氧化、耐酸碱腐蚀、硬度太等优点，在一些对工作条件苛刻的条件下，如高温、高强度、重腐器等H目。有比金属如，高温条件下使用的微型燃烧器、微型反应器、高温压力传感更优越的性能，同时一些陶瓷材料的生物相溶性也好，可作为复、骨组织支架等生物医学领域。

　　科技发展使氧化锆陶瓷材料产品的微细加工技术已成为各国都关注的一个重要课题。设备不断趋于微型化，在汽车、医疗、航空、航天、军事、环境检测等领域中氧化锆陶瓷都有着十分广阔的应用前景…。

　　氧化锆陶瓷在汽车领域．

　　氧化锆陶瓷应用于检测发动机进气管压力的微型压力传感器、用于汽车安全气袋系统中的微加速度计，以及用于车轮侧滑和打滚控制的微角速度计。

　　氧化锆陶瓷在医学领域

　　氧化锆陶瓷中应用的菩种微型器械如微泵、微阀、微镊子、微流量计等。用于军事领域的微型惯性测量装置、微全分析系统、RF传感器等。

　　世界各国都开始纷纷投入大量资金、科研力量加太微机械系统的研究。美国国家自然科学基金、国防部等机构十分重视微机电系统技术．投资大量资金进行相关的研究。欧盟成立了多功能微系统研究合作机构，以加强各国之间的相互台作。

　　日本制定了纳米制造计划、埃技术计划、微型机器人计划，成立了微机械中心和微机械学会。我国的微系统研究起步并不晚，目前从事微机电系统研究的单位有60多个，在传感器和微执行器方面，积累了一些技术，取得了一些科研成果，但是在商品化、质量、价格等方面与国外差距还很大。